మోడల్ ZDF-62B5 కాంపౌండ్ వాక్యూమ్ గేజ్ 2 సెట్లు తక్కువ వాక్యూమ్ కొలిచే యూనిట్లు మరియు 1 సెట్ అధిక వాక్యూమ్ కొలిచే యూనిట్లతో కూడి ఉంటుంది. కొలత సాధించడానికి ఒక యూనిట్ నిరోధక గేజ్ (RG 2) ఉపయోగించబడుతుంది (1.0 × 10E5Pa~1.0 × 10E-7Pa) స్వతంత్రంగా, అయోనైజేషన్ గేజ్తో కలిపి రెసిస్టెన్స్ గేజ్ (RG1) యూనిట్, కాంపౌండ్ యూనిట్గా, నిరంతర నియంత్రణ మరియు కొలత సాధించడం (1 × 10E5~1 × 10E-7Pa).