అయాన్ స్పట్టర్ కోటర్, SBC-12, Au, Ag, Cu, Al కోసం లక్ష్యం అందుబాటులో ఉంది
చైనాలో టర్బో మాలిక్యులర్ పంప్, కమర్షియల్ హీలియం లీక్ డిటెక్టర్ మరియు స్కానింగ్ ఎలక్ట్రాన్ మైక్రోస్కోప్ యొక్క మొదటి సెట్‌ను KYKY కనుగొంది.
1970 లలో, KYKY యొక్క SEM బ్రాంచ్ KYKY చైనాలో మొట్టమొదటి స్కానింగ్ ఎలక్ట్రాన్ మైక్రోస్కోప్‌ను విజయవంతంగా అభివృద్ధి చేసింది.
SEM నమూనా తయారీ, నాన్-కండక్టింగ్ నమూనా ప్రిప్రాసెసింగ్ కోసం స్పుట్టరింగ్ కోటర్.
మీడియం గ్యాస్: గాలి లేదా ఆర్గాన్, ఆర్గాన్ ఇన్లెట్ మరియు ఎయిర్ ద్రవ్యోల్బణం మైక్రోఅడ్జస్టర్‌తో. అనుకూలీకరించిన అందుబాటులో ఉంది, ఉదాహరణకు (పూత మందం గేజ్‌తో సన్నద్ధం చేయండి)
ప్రయోజనాలు:
చిన్న పరిమాణం; యూజర్ ఫ్రెండ్లీ ఆపరేషన్; మెటల్ టార్గెట్ చాలా వరకు స్వీకరించబడింది; ఆర్గాన్ మోడ్ అందుబాటులో ఉంది.
లక్షణాలు:
| పని గది వ్యాసం: | 75-150 మిమీ |
| వాక్యూమ్ సిస్టమ్ | తరలింపు కోసం రోటరీ పంప్, 2L/s |
| నిక్షేపణ రేటు: | 2-10 nm/min |
| శక్తి: | 220V/50Hz |
| గ్లాస్ ప్రాసెసింగ్ చాంబర్ | 100 మిమీ; 130 మిమీ ఎత్తు. |
| నమూనా దశ పరిమాణం: | 40mm (6 నమూనా కప్పులను పట్టుకోండి) |
| గోల్డెన్ లక్ష్యం పరిమాణం: | Mm58 మిమీ*0.12 మిమీ (మందం) |
| వాక్యూమ్ డిటెక్షన్: | పిరానీ గేజ్ |
| వాక్యూమ్ రక్షణ: | మైక్రోస్కేల్ ద్రవ్యోల్బణ వాల్వ్‌తో 20 పే |
| మీడియం గ్యాస్: | ఆర్గాన్ లేదా ఆర్గాన్ గ్యాస్ ప్రత్యేక ఎయిర్ ఇన్లెట్ మరియు మైక్రోస్కేల్‌లో నియంత్రించే గ్యాస్‌తో గాలి. |
అప్లికేషన్స్:
ఎలక్ట్రాన్‌ను స్కాన్ చేయడానికి నమూనా (స్పట్టరింగ్, బంగారం. వెండి, రాగి, టైటానియం మరియు అల్యూమినియం సామర్థ్యం).